1、 概述

本产品适用于高真空、低真空做截止阀。其型号有：ZK-30-1、ZK-30-2、ZK-50-1、ZK-50-2、

ZK-80-1、ZK-30WA-1、ZK-40WA-1、ZK-50WA-1。其中型号中标志有-1 的为高真空阀门；标志

有-2 的为超高真空阀门；标志有WA 的为带真空规管装置的高真空阀门。本系列产品重复使用

密封的可靠性高、操作方便，阀门的通导能力能适应排气工艺的要求。

2、结构及原理

本系列产品的外形图示于后，阀体、阀杆、波纹管、法兰等结构材质均采用不锈1Cr18Ni9Ti制

造。这种不锈钢不仅有良好的耐酸性和耐腐蚀性能，而且有良好的焊接性能，在高温和低温下

材质性能稳定且没有磁性，用于制造真空阀门可以保证阀门广泛的适用性。阀体的焊缝均采用

氩弧焊接。对所有焊缝和整体阀门制造中均采用氦质谱检漏仪检漏，漏率小于1X10-9PaM3/S。

本产品的阀头结构形式有两种：凡是高真空阀门的阀头，采用聚四氟乙烯，密封可靠，放气量

小，使用温度小于120℃。而超高真空阀门的密封部位采用全金属密封，阀头材料为铜质(T2或

Tu1)烘烤温度在300℃以下使用，工作可靠，重复性好。

带真空规管的高真空阀门，规管为可拆卸式，带自动密封装置，在更换规管时，大气不会进入

被抽容器，从而保持了原有的真空度。它既可以在被抽容器和真空系统之间作真空阀门使用，

也可以外接真空计测量被抽容器真空度。

本系列产品配有外接法兰组件和蒙板以备用户选用。

2.1 使用条件

工作温度：-50℃～120℃；

相对湿度：≤95%；

大气压力：86KPA～106KPA。